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中国科技出版传媒股份有限公司
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1-6
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189531
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0045178894-7
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平装
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16开
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2015年12月
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230
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192
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工学
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电子科学与技术
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TN305
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理工
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本科
内容简介
本书内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验,并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能,着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。本书可作为高等院校微电子学、电子科学与技术、光电等专业本科生相关实验课程的教材$也可作为从事微电子科学、电子器件#集成电路等工程研究和应用相关人员的实验技术参考书。