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出版时间：2015年6月

出版社：中国科技出版传媒股份有限公司

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基本信息 评价
  • 中国科技出版传媒股份有限公司
  • 9787030444943
  • 1-1
  • 106820
  • 0045179399-6
  • 平装
  • B5
  • 2015年6月
  • 220
  • 153
  • 工学
  • 电子科学与技术
  • TN432-33
  • 理工类
  • 本科、高职高专
内容简介
本教材《微电子制造技术实验教材》是针对微电子相关专业的本科生的实验动手能力培养而编写的。本书涵盖了所有微电子制造及集成的基础知识和基础实验。包括硅片清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、湿法及干法刻蚀、薄膜沉积、物理测试、化学测试等基础知识和实验，同时介绍了二级管、三极管、电阻器、CMOS管等器件制造的综合性实验。本书的重点在于培养学生的动手能力，注重实验的操作
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