半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程
作者： 唐龙谷
出版时间：2014年7月
出版社：清华大学出版社
- 清华大学出版社
- 9787302354314
- 1-1
- 181945
- 0045158282-9
- 平装
- 16开
- 2014年7月
- 373
- 工学
- 电子科学与技术
- TN305-39
- 微电子、电子科学与技术
- 研究生、本科
本书内容丰富、层次分明、突出实用性，注重语法的学习，例句和配图非常丰富； 所附光盘含有书中具有独立仿真功能的例句的完整程序、教学PPT和大量学习资料。读者借助本书的学习可以实现快速入门，且能深入理解TCAD的应用。
本书既可以作为高等学校微电子或电子科学与技术专业高年级本科生和研究生的教材，也可供相关专业的工程技术人员学习和参考。
第1章 仿真基础
1．1 TCAD
1．1．1 数值计算
1．1．2 基于物理的计算
1．2 Silvaco TCAD
1．2．1 主要组件
1．2．2 目录结构
1．2．3 文件类型
1．3 Deckbuild
1．3．1 Deckbuild Preferences
1．3．2 语法格式
1．3．3 go
1．3．4 set
1．3．5 Tonyplot
1．3．6 extract
1．4 学习方法
思考题与习题
第2章 二维工艺仿真
2．1 ATHENA概述
2．2 工艺仿真流程
2．2．1 定义网格
2．2．2 衬底初始化
2．2．3 工艺步骤
2．2．4 提取特性
2．2．5 结构操作
2．2．6 Tonyplot显示
2．3 单项工艺
2．3．1 离子注入
2．3．2 扩散
2．3．3 淀积
2．3．4 刻蚀
2．3．5 外延
2．3．6 抛光
2．3．7 光刻
2．3．8 硅化物
2．3．9 电极
2．3．10 帮助
2．4 集成工艺
2．5 优化
2．5．1 优化设置
2．5．2 待优化参数
2．5．3 优化目标
2．5．4 优化结果
思考题与习题
第3章 二维器件仿真
3．1 ATLAS概述
3．2 器件仿真流程
3．3 定义结构
3．3．1 ATLAS生成结构
3．3．2 DevEdit生成结构
3．3．3 DevEdit编辑已有结构
3．4 材料参数及模型
3．4．1 接触特性
3．4．2 材料特性
3．4．3 界面特性
3．4．4 物理模型
3．5 数值计算方法
3．6 获取器件特性
3．6．1 直流特性
3．6．2 交流小信号特性
3．6．3 瞬态特性
3．6．4 高级特性
3．7 圆柱对称结构
3．8 器件仿真结果分析
3．8．1 实时输出
3．8．2 日志文件
3．8．3 Deckbuild提取
3．8．4 Tonyplot显示
3．8．5 output和probe
思考题与习题
第4章 器件电路混合仿真
4．1 MixedMode概述
4．2 电路仿真流程
4．3 MixedMode的语法
4．3．1 网表状态
4．3．2 控制和电路分析状态
4．3．3 瞬态参数
4．4 电路仿真示例
4．4．1 FRD正向恢复仿真
4．4．2 FRD反向恢复仿真
4．4．3 PIN二极管的光响应仿真
4．5 电路仿真结果分析
4．5．1 结果输出形式
4．5．2 结果分析
思考题与习题
第5章 高级特性
5．1 C注释器
5．2 自定义材料
5．2．1 材料类型
5．2．2 自定义材料
5．3 工艺参数校准
5．4 DBinternal
5．4．1 Template文件
5．4．2 Experiment文件
5．4．3 DBinternal命令
5．5 VWF
5．5．1 DOE
5．5．2 优化
5．6 三维仿真
5．6．1 ATLAS3D
5．6．2 Tonyplot3D
5．6．3 VictoryCell
思考题与习题
参考文献
