半导体材料研究进展（第一卷） / 国家十一五重点图书
作者： 王占国、郑有炓等
出版时间：2012年1月
出版社：高等教育出版社
- 高等教育出版社
- 9787040306996
- 1版
- 99753
- 0045155599-9
- 特殊
- 2012年1月
- 900
- 623
- 工学
- 电子科学与技术
- TN304
- 材料类
- 研究生
《半导体材料研究进展(第1卷)》可作为高等院校、科研院所从事电子科学与技术、微电子和光电子学、电子工程与材料科学等专业的研究生和科研工作者的参考读物。
第一章 绪论
1.1 半导体材料发展简史
1.2 半导体材料功能结构的演进
1.2.1 半导体三维结构材料
1.2.2 半导体低维结构材料
1.3 半导体材料生长动力学模式
1.3.1 半导体材料生长方法概述
1.3.2 块状半导体晶体生长动力学
1.3.3 半导体异质结构材料外延生长动力学
1.3.4 半导体纳米材料的气-液-固(VLS)反应生长动力学
1.4 碳基材料——石墨烯与碳纳米管
1.4.1 石墨烯
1.4.2 碳纳米管
参考文献
第二章 现代半导体材料制备和表征技术
2.1 现代半导体材料制备技术
2.1.1 引言
2.1.2 分子束外延技术
2.1.3 金属有机气相外延技术
2.1.4 其他外延生长技术
2.2 现代半导体材料表征技术
2.2.1 引言
2.2.2 扫描探针显微技术
2.2.3 反射差分谱
2.2.4 扫描近场光学显微镜
参考文献
第三章 元素半导体材料锗和硅
3.1 锗的制备技术和应用进展
3.1.1 锗的研究和应用
3.1.2 锗的基本性质
3.1.3 金属锗的制备
3.1.4 高纯锗的制备
3.1.5 锗单晶的制备
3.2 高纯多晶硅的制备技术
3.2.1 硅的基本性质和应用
3.2.2 金属硅的制备技术
3.2.3 化学法制备多晶硅技术
3.2.4 物理冶金法制备多晶硅技术
3.3 微电子硅材料进展
3.3.1 微电子硅材料的研究和应用
3.3.2 大直径硅晶体的生长和加工
3.3.3 晶体硅的缺陷工程和杂质工程
3.3.4 外延硅薄膜的生长
3.3.5 新型硅基薄膜
3.3.6 纳米硅制备及其在纳电子的应用
3.3.7 硅基发光和硅基光电子
3.4 太阳能硅材料进展
3.4.1 太阳能硅材料的研究及应用
3.4.2 直拉硅单晶的生长和加工
3.4.3 铸造多晶硅的生长和加工
3.4.4 非晶硅薄膜的进展
3.4.5 带硅的应用和进展
3.4.6 纳米硅太阳能电池的应用
参考文献
第四章 硅基异质结构材料
4.1 引言
4.2 硅基Ⅳ族异质结构材料
4.2.1 SiGe合金材料
4.2.2 自组装Ge量子点材料
4.2.3 硅基Ge材料
……
第五章 Ⅲ-V族化合物半导体材料
第六章 m族氮化物半导体材料
第七章 SiC半导体材料
第八章 Ⅱ一Ⅵ族半导体材料
第九章 红外半导体材料
第十章 半导体金刚石和立方氮化硼材料
参考文献
