第1章 精密超精密加工技术的发展与展望

　1.1 超精密加工技术的概念与内涵

　　1.1.1 概述

　　1.1.2 超精密加工技术的研究范围

　1.2 超精密加工技术的发展历史

　　1.2.1 超精密加工技术的三种方式

　　1.2.2 现代超精密加工技术的发展现状

　1.3 超精密加工技术发挥的作用

　　1.3.1 促进现代基础科学和应用基础科学的发展

　　1.3.2 是现代高新技术产业发展的基础

　　1.3.3 是现代武器装备的重要技术支撑

　　1.3.4 是衡量一个国家制造水平高低的重要标志

　　1.3.5 与智能制造技术相互促进

　1.4 精密超精密加工技术的发展趋势

　　1.4.1 超精密加工技术基础理论和试验研究将进一步发展

　　1.4.2 被加工材料和工艺方法在不断扩展

　　1.4.3 微结构功能表面的超精密加工技术正在兴起

　　1.4.4 超精密加工技术开始追求高效

　　1.4.5 超精密加工技术将向极致方向发展

　　1.4.6 超精密加工技术将向超精密制造技术发展

第2章 超精密基础元部件

　2.1 空气静压重力平衡气缸

　　2.1.1 概述

　　2.1.2 气体静压平衡气缸技术应用分析

　　2.1.3 空气静压润滑气缸的技术实施方案

　　2.1.4 空气静压润滑气缸特性试验验证

　2.2 套装空气静压轴承行星运动机构

　　2.2.1 套装空气静压轴承行星运动机构在超精密机床中的应用背景

　　2.2.2 套装空气静压轴承行星运动机构应用分析

　　2.2.3 套装空气静压轴承行星运动机构实施方案

　　2.2.4 套装空气静压轴承行星运动机构运动精度试验验证

　2.3 超精密位置伺服控制主轴C轴及B轴

　　2.3.1 背景

　　2.3.2 超精密车床c轴的特点及设计

　　2.3.3 超精密位置伺服控制主轴B轴

　2.4 基于直线电机驱动的液体静压导轨及附件

　　2.4.1 概述

　　2.4.2 小流量流体液体静压导轨的设计

　　2.4.3 基于伺服控制的液压供油系统

　2.5 高同轴度孔加工气浮镗杆

　　2.5.1 研究背景

　　2.5.2 高同轴度孔加工技术实施方案

　2.6 高位置度端面加工用气浮镗杆

　　2.6.1 结构设计

　　2.6.2 内孔及端面加工工艺

　2.7 基于空气静压轴承的微量进给系统

　　2.7.1 基本原理

　　2.7.2 空气静压轴承微量进给系统应用实例

　2.8 带有微调机构的超精密分度转台

　　2.8.1 精密分度台的典型结构

　　2.8.2 微调机构的设计与计算

　2.9 端齿分度台

　　2.9.1 概述

　　2.9.2 端齿盘的种类及基本结构

　　2.9.3 端齿盘的加工

第3章 典型超精密加工设备的发展及关键技术

　3.1 概述

　　3.1.1 先进超精密加工机床的特点

　　3.1.2 先进超精密机床领域发展趋势

　　3.1.3 超精密机床国内外的差距及发展策略

　3.2 超精密加工设备研制关键技术

　　3.2.1 超精密加工设备设计基本原则

　　3.2.2 超精密加工机床研发中的关键技术

　3.3 多轴超精密切削加工设备

　　3.3.1 多轴超精密切削加丁设备的总体设计及布局

　　3.3.2 各部件结构特点

　3.4 模辊超精密加工机床

……

第4章 超精密加工新工艺

第5章 特殊材料及复杂形状零件的超精密加工技术

第6章 微结构特征的超超精密加工技术

第7章 航空典型零件的精密加工技术

第8章 精密光学扫描坐标测量技术

第9章 精密超精密加工技术在抗疲劳制造技术中的应用

参考文献